硅片邊緣曝光設(shè)備被動式空氣彈簧作為工業(yè)生產(chǎn)中的一種重要減震器，其主要的作用在于控制生產(chǎn)過程中各部構(gòu)件配合產(chǎn)生的噪音以及異常振動，能顯著提高設(shè)備的使用壽命、使用者的體驗(yàn)性和生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性。目前，被動式空氣彈簧和主動空氣彈簧已經(jīng)成為了工業(yè)活動的重要部件。
主要區(qū)別就在于其工程控制對象的不同。硅片邊緣曝光設(shè)備被動式空氣彈簧的工作原理是控制振動源，使得振動源無法將振動傳導(dǎo)到其他工業(yè)設(shè)備中，起到減震隔振的作用。而主動空氣彈簧的工作原理是保護(hù)受振動部件，使得受保護(hù)部件不會受到外來的振動源的影響。但是，主動空氣彈簧不會像被動式空氣彈簧那樣控制振動源的影響。因此，如果振動源能夠影響多個部件，則被動式空氣彈簧更加適合該工業(yè)生產(chǎn)過程。
有哪些特性
兩個重要特性就是其設(shè)計(jì)方案的精密性和組裝步驟的便捷性。通常能夠被廣泛運(yùn)用在不同的設(shè)備中，具備良好的適應(yīng)性。一些使用了高純度石墨復(fù)合型橡膠的密封件的被動式空氣彈簧，可以在出現(xiàn)氣體泄漏之后持續(xù)工作一段時間，該特性提高了在檢修方面的開放性。
 綜上，被動式空氣彈簧在工業(yè)設(shè)備中具有廣泛的應(yīng)用性，根據(jù)隔振對象、彈簧材料和工藝的不同，其性價比也就不同，需要在市場上與同類產(chǎn)品進(jìn)行充分比較，才能選出能滿足需求的產(chǎn)品。